首个长三角计量技术规范发布

　　本报讯 近日，经上海、江苏、浙江、安徽一市三省市场监管局批准，首个“沪苏浙皖”计量技术规范《JJF（沪苏浙皖）4001-2021微纳米线间隔标准样板校准规范》正式发布。
　　随着技术的进步，集成电路几何尺寸越来越小，如何实现半导体产业线宽的精确计量分析，是困扰我国纳米计量与表征领域的一个技术难题。纳米线间隔标准样板作为具有一种或多种固有属性的线宽标准物质，主要用于扫描探针显微镜、台阶仪、触针式轮廓仪和光学式表面形貌测量仪等纳米测量仪器的校准，在纳米级长度量值传递中起到关键作用，被广泛应用于集成电路制造领域。该规范由上海市计量测试技术研究院等单位起草，作为“沪苏浙皖”计量技术规范发布，将服务长三角地区集成电路制造企业使用微纳米线间隔标准样板的溯源工作，对支撑我国集成电路产业发展贡献力量。
　　2020年以来，为贯彻《长江三角洲区域一体化发展规划纲要》精神，构建完善区域计量支撑体系，沪苏浙皖一市三省市场监管局分别签署了《长三角地区法制计量领域合作互认协议》《长三角地区市场体系一体化建设计量合作备忘录》，按照“存量协商互认、增量按需共建”的原则，在重点领域编制出台“沪苏浙皖”计量技术规范，通过发挥四地优势计量资源，满足构建区域计量支撑体系的要求，服务长三角经济社会高质量发展。前期，一市三省市场监管局共同拟定发布了《“沪苏浙皖”计量技术规范制修订实施细则》，对“沪苏浙皖”计量技术规范的立项、审定、批准、发布等环节作了规定。
　　为进一步推进长三角计量技术规范制修订工作，经一市三省市场监管局推荐，2021年度“沪苏浙皖”计量技术规范立项计划于日前发布。下一步，一市三省市场监管局将继续加强协商合作，集中优势力量，推动长三角计量工作高质量发展。

□冉 一