上海市计测院集成电路检测技术示范实验室揭牌

　　本报讯 3月23日，上海市计量测试技术研究院（以下简称上海市计测院）与赛默飞世尔科技（中国）有限公司（以下简称赛默飞世尔）共建的“集成电路检测技术应用示范实验室”揭牌仪式在上海市张江高新科技园区举办。
　　当前，集成电路已成为加速数字经济赋能升级、支撑新基建高质量发展的核心产业。而随着芯片制程的不断缩小，对集成电路相关材料检测的要求也达到了新的高度。与此同时，长三角地区作为我国集成电路产业实力最强、实体最为聚集的区域之一，需要进行新的技术突破。
　　上海市计测院与赛默飞世尔凭借各自技术创新优势，聚焦集成电路材料检测，共建集成电路检测技术应用示范实验室，双方签订战略合作协议，共同开发集成电路材料的关键测量技术，有助于更好地服务集成电路产业的高质量发展。
　　揭牌仪式上，上海市计测院院长张丽虹表示，上海市计测院聚焦重点产业发展，不断提高集成电路材料检测技术能级，技术水平逐步从成熟工艺制程延伸到先进工艺制程。共建的合作实验室将围绕集成电路材料的检测方法研究、技术交流，共同开发集成电路材料关键测量技术，共同推动集成电路产业高质量发展。

□沪计测